DEPC是一种有效的核酸酶抑制剂，它能够与很多酶的-NH，-SH或-OH等基团发生反应，从而破坏酶的活性中心。DEPC溶液浓度约为0.1% (v/v)时可使RNase失活，从而防止RNA被降解。在进行RNA实验时，常用DEPC处理实验所用的各种试剂。
我们通常所说的DEPC(处理)水是指用DEPC处理过并经高温高压消毒的超纯水。超纯水加0.1% DEPC，混匀过夜，121℃，20min。而后DEPC即降解成二氧化碳和酒精，失去毒性。
DEPC(处理)水可以用于RNA沉淀的溶解，含有RNA的各种反应体系如反转录、siRNA的退火等，以及其它各种要求无RNase、DNase和proteinase的反应体系。