最先采用燃烧法分析有机物元素组成的人当属法国化学家拉瓦锡（Autoine Laurent Lavoisier，1743-1794），他将已称重的有机物（如乙醇、橄榄油、蜂蜡等）试样置于水槽中的汞面上，再将一充满氧气的钟罩扣在水槽中，加热使有机物完全燃烧，冷凝后检测生成H2O的质量、氧气和CO2混合气的体积以及用苛性碱吸收CO2后剩余O2的体积，即可推算出该有机物中含碳、氢、氧的质量分数。
此后，有道尔顿、盖-吕萨克、贝采里乌斯、维勒等科学家依据类似的原理先后对实验装置和所用的氧化剂作了一些改进，使分析结果的准确性有所提高，但仍不理想。
其燃烧管是一根很长的硬质玻璃管，以炭火（或煤气灯）加热，管内采用氧化铜作氧化剂，反应产生的水分和CO2分别用装有无水氯化钙（或高氯酸镁）和碱石灰的干燥管吸收，然后称重，即可得出该有机物中所含碳、氢、氧三种元素含量的测定结果。李比希的这套分析仪很快就成为常规分析仪，被广泛采纳。对该装置略作改动，还可检测出有机物中氮元素的含量等。