1.用电子束作照明源，显微镜的分辨本领要高得多，分辨本领：2-3nm，可以直接分辨原子，并且还能进行纳米尺寸的晶体结构及化学组成的分析。
2.但电磁透镜的孔径半角的典型值仅为10-2-10-3rad。
3.几何像差：由透镜磁场几何形状上的缺陷而造成的。
4.色差：由电子波的波长发生一定幅度的改变而造成的。
环境扫描电镜中的“环境“并非真正意义上的大气环境，与传统SEM样品室高达10-3-10-6Torr的真空度相比，ESEM样品室的真空度很低，从1Torr-20Torr，非常接近大气环境，但不等同于760Torr的大气环境。