现代SEM中，用户可以控制电子束的大

在现代SEM中，用户可以控制电子束的大小。这主要是通过调节系统的会聚镜和物镜，选择不同大小的孔径光阑来实现的。

电子流经电磁透镜（由极靴内部的线圈组成），操作者可以通过调节加载在透镜上的电流来控制电子的路径。此外，束斑直径取决于加速度电压（高加速电压减小斑点尺寸），工作距离（距离越大，束斑直径越大），以及物镜光阑（较小的光阑产生较小的束斑直径）。

然而，实际上电子束斑的大小是一个控制和预测起来非常复杂的参数，因为它依赖于许多（相互关联的）因素。描述束斑直径涉及到电子枪的高斯直径、末级光阑的衍射效应、色差和电磁透镜引起的球面像差。

如果再看下图1，为了在样品试样表面上有一个较小的束斑直径和足够的电流，用户只需增加电子束的会聚角。然而，这将增加扫描电镜中光学元件的像差，从而拓宽光束。因此，要想准确地进行实验，必须了解不同的参数是如何影响电子束的特性，并权衡它们之间的利弊。