发布时间:2022-06-15 14:51 原文链接: 生产半导体芯片过程中为什么需要洁净水

生产半导体芯片的过程极为精密并充分自动化,除了在1PPM以下的洁净空间作业外,所有机台和材料清洗便需要纯水 DI water ,一般洁净水还不能通用。