1、能进行微区分析。可分析数个μm3内元素的成分。
2、能进行现场分析。无需把分析对象从样品中取出，可直接对大块试样中的微小区域进行分析。把电子显微镜和电子探针结合，可把在显微镜下观察到的显微组织和元素成分联系起来。
3、分析范围广。Z>4其中，波谱：Be~U，能谱：Na~U。
