电子探针可以对试样中微小区域微米的化学组成进行定性或定量分析,除做微区成分分析外,还能观察和研究微观形貌、晶体结构等。电子探针技术具有操作迅速简便、实验结果的解释直截了当、分析过程不损坏样品、测量准确度较高等优点,在冶金、地质、土壤、生物、医学、考古以及其他领域中得到日益广泛应用,是土壤和矿物测试分析和样品成分分析的重要工具。