电子行业超纯水系统的工艺流程

　　1、预处理→反渗透→水箱→阳床→阴床→混床→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→精制混床→精密过滤器→用水对象

　　2、预处理→一级反渗透→加药泵（ PH调节）→中间水箱→二级反渗透→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5 μ m精密过滤器→用水对象

　　3、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5 μ m精密过滤器→用水对象

　　4、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→精制混床→0.2或0.5 μ m精密过滤器→用水对象