发布时间:2023-02-01 10:52 原文链接: 电子透镜的结构组成

电子透镜有静电透镜、磁透镜和复合电子透镜等三种类型(或分为静电透镜、磁透镜两种类型)。

在一般的电子束曝光系统中,除了电子枪外,基本上都采用磁透镜。但是,在电子束微矩阵曝光以及新型电子显示屏等系统中,静电透镜仍然有着一定的应用。