电容式传感器工作原理及类型

　　电容式传感器是将被测量（如尺寸、压力等）的变来化转换成电容量变化的一种传感器。

　　9.4.1 工作原理及类型

　　由物理学可知，在忽略边缘效应的情况下，平板电容器的电容量为

　　 （F）

　　式中

　　 —真空的介电常数源， =8.854×10-12F/m；

　　 ε—极板间介质的相对介电系数，在空气中，ε=1；

　　 S—极板的遮盖bai面积（m2）；

　　 δ—两平行极板间的距离（m)。

　　 上式表明，当被测量δ、S或ε发生变化时，会引起电容du的变化。如果保持其中的两个参数不变，而仅改变另一个参数，就可把该参数的变化变换为单一电容量的变化，zhi再通过配套的测量电路，将电容的变化转换为电信号输出。根据电容器参数变化的特性，电容式传感器可分为极dao距变化型、面积变化型和介质变化型三种，其中极距变化型和面积变化型应用较广。