电感耦合等离子体的形成

    ICP的形成就是工作气体的电离过程。为了形成稳定的ICP炬焰需要四个条件：   高频高强度的电磁场  ，工作气体 ，维持气体稳定放电的石英矩管 ，电子离子源     
矩管是由直径20mm的三重同心石英管构成。石英外管和中间管之间同10~20L/min的氩气，其作用是作为工作气体形成等离子体并冷却石英矩管，称为等离子体气或冷却气。中间管和中心管通入05~1.5L/min氩气，称为辅助气，用以辅助等离子体的形成。中心管用于导入试样气溶胶。石英矩管外套有高频感应线圈，感应圈一般为2~4圈空心铜管。
         形成ICP焰炬通称为点火。点火分三步：*步是向外管及中管通入等离子体和辅助气，此时中心管不通气体，在矩管中建立氩气气氛；第二部向感应线圈接入高频电源，一般频率为27~40MHz，电源功率为1~1.5KW，此时线圈内有高频电流及由它产生的高频电磁场。由于在室温下干燥的氩气并不导电，不会在氩气中产生感应电流，必须用其他方法使氩气局部电离成为导体。高频电磁场才能使它进一步电离形成等离子体。使氩气部分电离的方法有两种，一种是石墨棒加热法，目前多用能产生放电的高压Tesla线圈，在管内氩气流中形成放电，使氩气局部电离为导电体，并进而产生感应电流。感应电流加热气体，形成火炬状 ICP炬焰。