等离子体喷焰作为发射光谱的光源主要有以下三种形式：
(1)电感耦合等离子体(inductively coupled plasma， ICP)
ICP性能优越，已成为最主要的应用方式 ；
(2)直流等离子体喷焰(direct currut plasmajet，DCP)
弧焰温度高 8000-10000K，稳定性好，精密度接近ICP，装置简单，运行成本低；
(3) 微波感生等离子体(microwave induced plasma, MIP)
温度5000-6000K，激发能量高，可激发许多很难激发的非金属元素：C、N、F、Br、Cl、C、H、O 等，可用于有机物成分分析，测定金属元素的灵敏度不如DCP和ICP。