臭氧气体具有很强的腐蚀性，在潮湿情况下腐蚀性最强。因此，臭氧发生设备‘输送臭氧的管道’阀门及接触反应设备均采取防腐措施。如使用碳钢材料必须涂防腐涂层。最好使用不锈钢管，玻璃钢管，ABS、PVC、PP-R塑料管等。接触池在使用钢筋混凝土材料时应加防腐涂层。一般橡胶不耐臭氧氧化，所以臭氧发生设备间的电线，电缆等均不能使用橡胶包裹的电线，应使用塑料电线。
