矿物的成分测试方法（电子探针显微分析）

电子探针X射线显微分析仪（EPM），简称电子探针，是一种现代成分分析仪器。由于它可以获得矿物微米量级微区内的化学成分，并且无需分离和破坏样品，费用也不高，尤其是对于那些含量少、颗粒微小以及成分不均匀样品的成分分析，提供了有效的分析方法，因此目前在矿物成分研究中应用最广。它除了可以给出一个微区的成分外，还可以对矿物进行成分的线扫描和面扫描，从而得出矿物的成分分布特征。
电子探针基本上由电子光学系统，光学显微镜、X射线分光光谱仪和图像显示系统四部分组成，此外还配有真空系统、自动记录系统和输出系统及样品台等。目前新型探针都带有X射线波谱仪和X射线能谱仪两种测定样品成分的系统。前者分辨率高，精度高，但测定速度慢，后者可作多元素的快速定性和定量分析，但分析精度较前者差。其工作原理是由电子枪发射出来的电子束，透过聚焦镜将其聚焦成直径约1μm的微束，以此作为激发源轰击样品待分析微区，在样品表面几个立方微米的范围内将会产生特征X射线、连续X射线、二次电子、背散射电子、阴极荧光、吸收电子等信息。然后将这些信息分别进行收集、处理，通过与标样进行对比，就可获得样品微区成分的定性或者精确定量分析。也可得到样品所含元素的点、线、面分布图像和微形貌图像，其分辨率可达7nm，放大倍数连续可调，可达20万～30万倍。
电子探针可分析的元素范围是5B～92U（波谱分析）或11Na～92U（能谱分析），其实际相对灵敏度很高，接近万分之一至万分之五。一般分析区内含量达10∧－14g的元素即可被感知。电子束斑直径最小为1μm，最大为500μm。
电子探针分析的样品要求表面清洁平整，没有外来物质污染，光片、光薄片或用环氧树脂胶结的磨平抛光的砂片，均可使用。表面要力求平整，不然会影响X射线的强度，降低分析的精度。对不导电的样品要喷镀一层对X射线吸收少的碳膜或金膜。电子探针分析不能测定矿物中的水，也不能给出变价元素各价态的含量比例。