离子探针分析仪有以下几个特点：
1. 由于离子束在固体表面的穿透深度（几个原子层的深度）比电子束浅，可对这样的极薄表层进行成份分析。
2. 可分析包括氢、锂元素在内的轻元素，特别是氢元素，这种功能是其它仪器不具备的。
3. 可探测痕量元素（～50×10-9，电子探针的极限为～0.01%）。
4. 可作同位素分析。
