等离子体原子发射光谱仪缺点：
1. 在经典分析中，影响谱线强度的因素较多，尤其是试样组分的影响较为显着，所以对标准参比的组分要求较高。
2. 含量（浓度）较大时，准确度较差。
3. 只能用于元素分析，不能进行结构、形态的测定。
4. 大多数非金属元素难以得到灵敏的光谱线。
1 因为工作时需要消耗大量Ar气，所以运转费用高。
2 因目前的仪器价格尚比较高，所以前期投入比较大。
3 等离子体原子发射光谱仪如果不与其他技术联用，它测出的只是样品中元素的总量，不能进行价态分析。
