SCE等离子刻蚀机支持以下四种平面等离子体处理模式：
直接模式——基片可以直接放置在电极托架或是底座托架上，以获得最大的平面刻蚀效果。
定向模式——需要非等向性刻蚀（anisotropic etching）的基片可以放置在特制的平面托架上。
下游模式——基片可以放置在不带电托架上，以便取得微小的等离子体效果。
定制模式——当平面刻蚀配置不过理想时，特制的电极配置可以提供。
