电子束检测其检测方式，是利用电子束扫描待测元件，得到二次电子成像的影像，根据影像的灰阶值高低，以电脑视觉比对辨识，找出图像中的异常点，视为电性缺陷，例如，在正电位模式下，亮点显示待测元件为短路或漏电，暗点则为断路。
其工作原理是利用电子束直射待测元件，大量的电子瞬间累积于元件中，改变了元件的表面电位(surface potentail)，当表面电位大于0 (相对于元件的基板(substrate)电位)，称为正电位模式 (Positive model)，反之，称为负电位模式 (Negative model)。