1、由氧化钙和二氧化硅在高温下煅烧熔融而成。
2、将纯石英与碳酸钙按CaO/SiO2为1∶1（摩尔比）混合，放入铂坩埚中于1500℃以上充分熔融后，将铂坩埚在水中急冷。将制得的偏硅酸钙玻璃体放入铂坩埚中，加热至800～1000℃，即开始结晶而生成β-CaSiO3。
3、利用α-CaSiO3的冷却进行制备。在纯固态下α-CaSiO3向β-CaSiO3转移是困难的，即使相当慢的冷却，也很难使转化进行。因此，往α-CaSiO3中加入其重量几分之一左右的偏钒酸钙，促进转化。
