线上电子显微镜仪器简介!

机台功能

In-line SEM主要用途为线上产品线宽量测，又称CD-SEM，其特点为WAFER无须经过切片或镀金属膜等预处理步骤，即可观察及量测光阻、绝缘层及金属层等之图案，本量测设备属于非坏性检测，量测完成之WAFER可以继续进行下一制程步骤，因此称为线上型电子显微镜。

本机台仅能量测线宽，由于试片无法倾斜，因此无法观察试片断面，本机台主要规格如下：

1.  加速电压：0.7～1.3kv

2.  放射电流：3～20mA

3.  电子枪：冷阴极场发射电子源（CCFE）

4.  解析度：6 nm（GOLD）

5.  放大倍率：100X～150000X

6.  试片尺寸：6"晶圆 （平边）

7.  影像旋转：-50°～95°

8.  真空度：≦1×10-7Pa（电子源）

机台的限制（材料，参数范围等）

              特殊注意事项：

1.           试片必须合于规定的尺寸及材质，试片底材：Si，试片尺寸：6 inch,具有单一平边。

2.           试片须完整，不可有缺角或裂纹。

3.           因电子腔内为高度真空，故试片不得为挥发性物质、不得为在电子束扫描时具挥发性之物质。

4.           试片若含光阻，必须先做完硬烤（HARD BAKE），才可将试片送入。

5.           试片不得含有磁性物质。