聚束科技携明星产品Navigator高通量扫描电镜亮相CISILE2020

　　分析测试百科网讯 在2020 CISILE展会上，国产高通量电镜品牌聚束科技携其明星产品Navigator-100及Clippers快船系列全自动显微扫描仪重磅亮相，吸引众人驻足询问、观看。

聚束科技展台

Navigator高通量扫描电镜系统

　　聚束科技Navigator系列是高通量电镜技术在材料表面分析、神经生物学领域的一项全新的应用。与传统SEM不同的是，Navigator针对大面积SEM分析的特定应用而全新设计的高通量电子光学成像系统，重点优化低落点能量下BSE的成像速率，同时保证SE的接收效率为95%以上，使SE和BSE的成像速率达到传统SEM的10倍左右，搭配聚焦跟踪系统和光学导航等辅助模块，综合成像速率是传统SEM的30倍以上，超高速成像能力达4至8TB/天。以半导体晶圆分析为例，以4nm像素大小扫描300umX300um区域内的晶圆刻线，传统电镜需要至少38分钟完成相同工作，而Navigator仅需0.9分钟即可完成自动图像采集，在保持高分辨率情况下对样品进行全自动无遗漏信息采集，并可绘制成Google地图式全景信息浏览。操作人员仅需推动鼠标滚轮，一切信息便展现在屏幕上，并可以对感兴趣的位置进行标注。也可以使用手动模式，实时地快速翻看样品免去不必要的光学参数调整。业界首创的索引式查看功能使用户无需再繁琐地操作电镜而可以专注于搜寻样品本身的信息。

　　高通量扫描电镜拥有广泛的应用前景。电镜检测技术可应用于材料科学、生命科学、失效分析、工艺制程研究等领域。例如超大体量生物3D重构成像、高通量跨尺度材料表征、大规模样品缺陷筛查、镀膜工艺检测、平板显示检测、纳米颗粒自动筛查等。