自动真空箱氦检漏装置工作原理

主要有离子源、分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计组成.
离子源是气体电离，形成一束具有特定能量的离子.
分析器是一个均匀的磁场空间，不同离子的质荷比不同；在磁场中就会按照不同轨道半径运动而