电子探针微区分析(EPMA，XRMA)由于X射线激发深度较大而对薄层分析产生困难，无法准确确定分析结果是样品表面的成分还是样品体相的成分。本工作首先从理论上探讨了薄膜产生全反射的的条件，然后在通常的x射线微区分析设备上，采用外全反射角X射线能谱微分析方法，通过对硅衬底上不同膜厚的铝膜和铜膜的测定，探索出一种区分膜成分和体相成分的新方法。 本论文共四章，其主要内容如下： 第一章：绪论。对X射线微区分析的原理和近年来薄层分析的研究现状进行了简要回顾。 第二章：首先从理论上探讨了X射线发生全反射的条件，然后利用现有的X射线微区分析设备对硅衬底上不同膜厚的铝膜和铜膜进行了研究测定，探索出发生外全反射的条件和区分膜成分和体相成分的方法。 第三章：对在不同低出射角条件下所获得的X射线能谱不同线系的X射线相对强度进行了研究。得出了在不同出射角采集的X射线谱中各线系强度间比值变化和引起这种变化的原因，这就为外全反射X能谱薄层分析中的定量分析提供了一定的依据。 第四章：利用外全反射X射线微区分析这一新方法应用于测定实品。对无机锶掺杂钛酸钡陶瓷介电材料的体相和表面进行了研究，结果表明：与常规的方法相比，该法有较高的表面灵敏度，可很好地解决薄层分析的困难。具有很广泛的实用价值
1、金属材料的相分析、成分分析和夹杂物形态成分的鉴定；2、高分子、陶瓷、混凝土、生物、矿物、纤维等无机或有机固体材料分析；3、可对固体材料的表面涂层、镀层进行分析，如：金属化膜表面镀层的检测；4、金银......
当X射线光子进入检测器后，在Si（Li）晶体内激发出一定数目的电子空穴对。产生一个空穴对的最低平均能量ε是一定的（在低温下平均为3.8ev），而由一个X射线光子造成的空穴对的数目为N=△E/ε，因此，......
本文提出一个直接利用薄膜和衬底的X射线能谱来同时测定薄膜的成分和厚度的新方法,利用薄膜发出的各元素的标识X射线强度比确定其成分,利用NaCl衬底的Nak_α和Clk_α标识X射线的强度随膜厚增大而衰减......
本文通过在EM400T透射电镜上用一些标准成分的样品进行薄膜无标样成份分析实验,检验了EDAX9100能谱仪的分析准确度。在本试验所用的样品范围内,其准确度为:近邻元素同一X光线系分析相对误差为5～1......
本文利用薄膜对入射电子束流的衰减作用和薄膜对衬底的x射线的吸收,提出了一种直接利用衬底的x射线的强度比来测量薄膜厚度的方法。并在各种实验条件下,对Cu薄膜的厚度进行了测量,得到了较为满意的结果。&nb......
随着探头制造技术水平的提高、电子学技术的发展,以及对脉冲处理技术和重叠峰处理方法的改进,能谱定量分析的精度得到不断提高。目前,对原子序数在11～30之间的常用元素,其分析精度大体上可以达到波长谱仪的水......
本文利用EM400T透射电子显微镜和EDAX9100能谱仪研究微量元素在晶界的偏聚。通过本文采用的电子束直径小到40A的微探针,低背底样品台,沿晶界拉长束斑,分段积分等措施,明显地提高了分析灵敏度。用......
本文就钡-稀土氟碳酸盐矿物的研究提出了一种简单的X射线能谱定量分析方法,对其可靠性作了检验。并指出,此法可能有助于今后发现这个系列矿物的新成员。 ......
本文对作者建立的微区成分无标样定量分析法进行了简化,使原有的计算量大为减少。用简化模型对Cu-Si,FeS2,NaCl,GaAs试样和多元钢样原实验数据进行了定量计算,并与原模型多元程序计算结果进行比......
能量色散谱仪(EDS)原来是一种核物理分析设备。由于半导体检测器制造和微信号低噪声电子学技术的进步,EDS的分辨率(谱线半高宽)由60年代的300ev提高到70年代的150ev,能对Al、Si这类较轻......