薄膜如何降低表面应力

在真空镀膜机镀制膜层后，薄膜表面会存在一种有叫表面应力的力，这种力在很多物质上都存在，所以薄膜也不例外，但由于薄膜的厚度非常薄膜，所以能够承受的表面应力是极度小的。 其实薄膜的表面应力就是对其拉伸或弯曲时因改变薄膜表面的面积从而产生的能量，而这种能量超过了薄膜能承受的范围，就会引起膜层裂开。另以为对于不易变形的工件上的薄膜不易拉伸弯曲，但不代表没有，其表面镀制的是一层很薄的膜层，所能承受的可想而知。 所以降低薄膜的表面应力是防止膜层裂开的一种有效的方法之一。总的来说可以从三个方面进行调整，第一个是降低蒸发的速率，对于那些通过真空蒸发镀膜机镀制的薄膜，可以把蒸发的速率适当的降低，使靶材成膜没那快，提高膜层的质量，虽说慢工出细货，但也不能大大的降低，因为在追求质量的同时，产量也是要注意的。第二个是延长除气的时间，因为工件里存有某些气体或水分，除气的目的就是把这些在镀膜前排出，以免降低了真空镀膜机内的真空度，真空度不够高也是会影响膜层的质量的。第三个是降低烘烤的温度，虽说烘烤温度高，可以加速除气，但过高的温度也会影响到工件本身的性能，改变了工件自身的性质，在表面应力也就更难以控制了。 通过以上三个不同的方法，都可以有效的降低薄膜的表面应力，能大大降低膜层裂开的危险。