表征压力控制仪的主要技术指标

　　表征压力控制仪的主要技术指标是压力控制范围、控制精度、流量控制范围、反应时间等。它取决于其配用的真空规管、控制电路及真空调节阀的性能。压力控制仪广泛应用于离子注入、离子束刻蚀、真空镀膜、激光技术及半导体材料等领域，其使用的环境条件与同类型的真空计大致相同。