解释一下化学气相沉积法制备纳米材料

化学气相沉积可以分为有基底沉积和无基底沉积。
有基底沉积又分为催化沉积和无催化沉积；
催化沉积往往用于区域选择性沉积或特定形貌纳米材料的沉积；
无催化沉积常用于制作各种膜材料；
无基底沉积往往利用气相分解，可以得到各种纳米粉体，使用相对较少。