是20世纪60年代末发展起来的一种新的微量分析技术。经加速器加速的质子束聚焦后，空间分辨率达微米，可以激发微区样品的X射线，用高能量分辨率的Si(Li)半导体探测器，检测X射线能量及其强度，实现X射线光谱分析，并可同时进行背散射分析。与其他分析方法相比，具有检测限低，快速和可同时进行多元素分析等优点。已应用于环境科学、生物学、医学与地质学等领域的研究工作。由于质子束的直径比较小，进行样品分析时，所需的样品量较少，0.n～n毫克试样即可满足要求。
