狭缝宽度 (µm)
光栅线对数/mm
25
50
100
200
500
3.8
4.5
5.5
10.5
24.0
830
2.9
3.5
4.2
7.0
15.0
900
2.7
3.2
4.1
6.8
14.5
1000
2.6
3.0
4.0
6.6
14.0
1200
2.4
2.8
6.2
13.5
