超高真空扫描探针显微镜是一种用于材料科学、物理学领域的分析仪器，于2011年12月15日启用。
1、技术指标
工作温度为室温，样品粗定位范围>6 mm×6 mm，单管扫描范围>6 μm×6 μm×2 μm。STM模式下可实现Si（1 1 1）和Au（1 1 1）表面的原子分辨；AFM接触模式下可实现云母和Au（1 1 1）表面的原子分辨；AFM非接触模式下可实现Si（1 1 1）表面的原子分辨。能经受不低于420K 烘烤。极限真空<2×10-8pa（烘烤后）。具有机械手用来进行样品、针尖或悬壁梁的传输，其行程>160mm.。
2、主要功能
固体表面的微观形貌测定、部分样品的表面电子结构、扫描隧道谱测量。