“跨尺度微纳米测量仪的开发和应用”启动实施

　　3月20日，由我局组织实施，上海计量科学研究院牵头承担的国家重大科学仪器设备开发专项“跨尺度微纳米测量仪的开发和应用”项目启动会在上海召开。该项目将通过攻克微联动多轴驱动和多测头集成、基于原子沉积光栅纳米量值溯源、双角度倾斜式场扫描等关键技术，用于计量、工业生产、产品检测中微形貌和几何尺寸测量的微纳米测量仪，以解决我国国防、航空航天、半导体制造业、微机电产业、大气污染物防治等领域微小尺度测量难题，通过产业化实施达到形成年产50台生产能力，累计销售收入5000万元的目标，为我国微纳米制造检测行业发展提供技术支撑。