软X射线投影光刻技术是现有可见-近紫外投影光刻技术向软X射线波段(1～30nm)的延伸。但是，由于此波段任何材料的折射率均接近于1，而且吸收较大，微缩投影光学系统必须采用反射系统，而单层膜反射镜对正入射软X 射线的反射率几乎为零，无法利用其组成正入射系统。70年代后，随着超光滑表面加工技术和超薄膜制备技术的不断提高，目前人们制备的13nm Mo/Si多层膜反射率已接近70%，这使人们利用多层膜反射镜集成软X射线投影光刻系统成为可能。
人类赖以生存的空间被地球内禀磁场形成的磁层保护，磁层的外边界称为磁层顶。近些年，有研究发现磁层顶附近区域在软X射线波段是明亮的。软X射线的辐射机制是太阳风电荷交换（SolarWindChargeExc......
近日，中国科学院上海高等研究院、上海应用物理研究所自由电子激光团队，在外种子自由电子激光研究方面取得重要进展，理论提出了一种相干能量调制的自放大机制，并基于上海软X射线自由电子激光装置（SXFEL）完......
软X射线能谱测量是ICF实验中的重要内容,测量意义重大。软X射线能诊断通过光谱分析,可以得到X射线总的通量,辐射温度,转换效率以及反照率。这些都是间接驱动黑腔热力学的重要参数。作为黑体腔特征诊断系统,......
掠射X射线分析是近年来迅速发展的一门分析技术，在科学研究以及分析检测和质量控制等生产领域都有着广泛的应用。X射线分析技术具有试样无损分析、制样经济方便、操作简单、分析结果重现性好及精度高等优点，使得这......
1月4日，由中科院和教育部共同组织的“软X射线自由电子激光试验装置可行性研究报告评审会”在中科院上海应用物理研究所张江园区召开。评审专家组由加速器物理和技术、激光物理与技术、建筑安装工程技术、工程预算......