相比其他分析技术，XRF具有许多优势。
其速度较快。能够测量多种类型的元素及其在不同类型材料中的含量浓度。此外，其属于非破坏性技术，仅需制备少量样品甚至完全不需要制备样品，因此，其相比其他技术成本较低。
这也就是为什么全球这么多人选择使用XRF技术进行日常的材料分析工作。
