发布时间:2021-08-08 12:15 原文链接: 透射电镜薄膜样品的制备

  薄膜样品的制备

  块状材料是通过减薄的方法制备成对电子束透明的薄膜样品。制备薄膜一般有以下步骤:

  (1)切取厚度小于0.5mm 的薄块。

  (2)用金相砂纸研磨,把薄块减薄到0.1mm-0.05mm 左右的薄片。为避免严重发热或形成应力,可采用化学抛光法。

  (3)用电解抛光,或离子轰击法进行最终减薄,在孔洞边缘获得厚度小于500nm 的薄膜。