薄膜检测技术指标
测试范围:0.01～6500 cm3/m2·d（常规）
0.07～65,000 cm3/m2·d（可选）
试样数量:1～3件（数据各自独立）
分辨率:0.001 cm3/m2·d
试验温度:15℃～55℃（常规）
控温精度:±0.1℃（常规）
试验湿度:0%RH、35%RH～90%RH、100%RH
控湿精度:±1%RH
试验气体:O2、空气等（气源用户自备）
测试面积:50 cm2
试样厚度:≤3 mm （其他厚度要求可定做）
试样尺寸:108 mm x 108 mm
载气:99.999%高纯氮气或含氢2％的氮气（气源用户自备）
气源压力:≥0.28MPa
接口尺寸:1/8英寸金属管
外形尺寸:690mm(L)×350mm(W)×360mm(H)
电源:AC (85～264)V (47～63)Hz
净重:70kg