发布时间:2024-05-28 11:18 原文链接: 金相显微镜共享

仪器名称:金相显微镜
仪器编号:11001102
产地:日本
生产厂家:奥林巴斯
型号:MX51
出厂日期:201009
购置日期:201101


所属单位:集成电路学院>微纳加工平台>测试与分析
放置地点:微电子所新所一层测试间
固定电话:
固定手机:
固定email:
联系人:包艳琳(010-62784044,13020075088,baoyl@tsinghua.edu.cn)
窦维治(010-62781090,13366273985,douwz@tsinghua.edu.cn)
分类标签:集成电路 样品观测 半导体工艺 金相显微镜
技术指标:

放大倍数50~1000X

知名用户:王喆垚:微电子所 蔡坚:微电子所 许军:微电子所 任天令:微电子所 陈炜:微电子所 王敬:微电子所 邓宁:微电子所 吴华强:微电子所 伍晓明:微电子所
技术团队:

设备工程师:仲涛

测试工程师:陈雅璐

功能特色:

OLYMPUS金相显微镜(放大倍数50~1000X)结合OLYCIA P3金相图像分析系统,可实现图像的采集以及参数测量(长度、角度、面积等),并具有实用的金相测量功能。OLYMPUS金相显微镜配备微分干涉器,所观察到的表面具有明显的凹凸感,呈浮雕状,对颗粒、裂纹、孔洞以及凸起等都能作出正确判断,能够容易判断明场下难于判别的结构细节或缺陷。

项目名称计价单位费用类别价格备注
金相显微镜元/小时自主上机机时费50.0
金相显微镜-送样元/小时测试费50.0


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