飞行时间二次离子质谱共享

1 分析器：反射式

质量分辨率：M/△M

＞1100028SiH+

＞16000 (＞200amu)   

质量范围: ＞12000amu

2 LMIG：Bi源

最大能量：30keV

最大电流：30nA

最小束斑直径：＜100nm(Atomic), ＜80nm(Cluster)

3 GCIB (Ar团簇离子枪)  

能量范围：2.5～20keV

Cluster 大小：约2500（m=100000amu）

4 O2+离子枪 (仅作溅射)

离子能量范围：0.2～2keV

5 Cs+离子枪(和O2+离子枪共享一个离子光学系统)

离子能量范围：0.2～2keV

6 带电中和低能电子枪

能量：1-20eV可调 

7 样品台：5维加热/冷却

控温范围及精度：-150℃～600℃；±1℃

8 EDR技术：动态范围增2个量级

9 本底真空：＜5×10-10mba

    仪器运行和管理人李展平高级工程师2005年被人才引进到清华大学分析中心，在国内外多年从事表面分析特别是TOF-SIMS的分析研究工作。

基本功能：

可用以表面下范围在2nm以内的最表层分析，能检测出包括氢(H)在内的所有元素及其同位素，对所有元素具有极高的检测灵敏度(ppm～ppb,因元素而异)，可检测痕量杂质，及微量掺杂对材料和器件性能的影响；能测定从表面到深至数十μm的微量元素及化合物浓度布；能观测各种元素及化合物的1D、2D、3D分布，具有很高的空间分辨率(＜100nm)；能分析绝缘材料；能鉴定有机化合物分子，对有机材料结构分析有独特的能力，适于分析大分子、超高分子量有机化合物，并能测定分子量；能取得单分子层表面结构信息。      

应用领域：

适用于有机、无机、生物、医学、电子、地质/考古、环境等各种领域的各种固体材料的分析。在有机纳米材料和器件、有机/高分子材料微量添加剂、微电子材料、催化剂、摩擦化学、新药创制、环境微颗粒微量成分、生物细胞分析等的研究开发中，它已成为必不可少的工具。