全球对光伏(PV)太阳能电池的需求推动了欧洲和亚洲出现大规模的制造热。为支持该行业的发展,马尔文仪器的Sysmex FPIA-3000分析仪有助于进行成本控制,减少废料。它能对用于切割硅片的高价值浆料所需的颗粒度和形状数据进行分析,可达到有效回收的目的。碳化硅浆料在晶圆制造行业占据很大比例的成本,估计每年运行10条线锯的运行成本高达1600万美元,使浆料回收成为一个价值极高的过程。

  依赖于碳化硅研磨浆料的多线锯切割工艺,可用于生产光伏太阳能电池所需的切割硅晶圆。这一技术能够一次切割成千上万片晶圆。然而,随着时间的推移,线锯上的浆料逐渐被污染,导致废品硅增多,磨料磨损颗粒积聚,降低了线锯过程的有效性。

  通过监测颗粒粒度和形状,Sysmex FPIA-3000能够对浆料回收进行最优控制。此外,除表征浆料本身以外,还能够调节碳化硅的颗粒粒度和形状分布,使晶圆之间切割得更薄,从而减少原料的浪费。

  Sysmex FPIA-3000能够在短短几分钟内测量数以万计的颗粒,使用成像流细胞仪来测量通过鞘流池的悬浮微粒,提供可靠的数据,可用于优化制造工艺。

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