高真空蒸发系统的技术指标

　　电子束蒸发源：8kW，2MHz 晶圆尺寸：最大6英寸 真空度：10E-7Torr 蒸发物料：Ti、Au等 典型沉积速率：0.1-10A/s 样品台最大倾斜角：±45° 样品台工作距离：40-60cm。