高频感应等离子体发生器的概念

发布时间：2021-10-14 12:59 原文链接：高频感应等离子体发生器的概念

又称高频等离子体炬，或称射频等离子体炬。它利用无电极的感应耦合，把高频电源的能量输入到连续的气流中进行高频放电。

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