不忘其志，先生千古——沉痛悼念查良镇教授

我国二次离子质谱(SIMS)的开拓者，国际著名的SIMS专家，清华大学教授，查良镇先生因病医治无效，于2022年12月24日2点18分在北京逝世，享年八十五岁。

查良镇教授的逝世，不仅是中国SIMS界的损失，也是世界SIMS界的损失！

查良镇教授是清华大学“千字号”毕业生，留校任教后成为清华大学表面物理与真空科学专业的领军人物。先生治学严谨、为人真诚，对学术一丝不苟，对工作尽心尽力，对学生诲人不倦。查教授上世纪六十年代初就研制成功中国第一台质谱捡漏仪，获国家工业新产品一等奖。1985年查良镇教授和他的团队克服各种困难，研制成功我国第一台四极二离子质谱仪（Q-SIMS），并进一步深入开展二次离子的基体效应、半导体材料掺杂的定性、定量分析等方面的基础性和应用性研究，开创了以清华大学为基地的中国二次离子质谱分析学术领域。查良镇教授从事SIMS研究几十年，主持和参与了多项全国和国际性的学术研究项目，取得一系列显著成果，学术影响遍及海内外。查教师一生培养了的大批学生和研究生，是一位不可多得的、令人尊敬的导师和学术带头人。

查良镇教授上世纪六十年代初研制成功中国第一台质谱捡漏仪

查良镇教授上世纪九十年代发表的研究论文 

查良镇教授退休后，不顾年事已高，仍然悉心指导我国第一个SIMS国际标准《Surface chemical analysis — Secondary ion mass spectrometry — Method for measurement of mass resolution》的撰写。该标准于2022年4月正式发布，对二次离子质谱质量分辨的定义及测试要求进行了澄清和规范，在国际SIMS领域产生了极大的影响。

查良镇教授查教授曾担任国际二次离子质谱专业委员会委员，中国物理学会质谱分会委员，为推动中国SIMS和世界先进国家的SIMS的学术交流做出了巨大的贡献。他于1993年倡议并组织了第一届中国二次离子质谱学会议，至今已形成每两年举办一届的全国性学术会议，是一个包括二岸三地在内的世界各地华人SIMS专家、学者参加的顶级学术交流盛会。

查良镇教授和参加第六届中国二次离子质谱会议的国内外专家学者在一起

查良镇教授陪同国外专家参观实验室 

查良镇教授和国际著名SIMS专家Benninghoven教授在一起

查良镇教授的逝世，使我们失去了一位SIMS的领军者，是中国SIMS界的重大损失。查良镇教授虽然离我们而去，但查良镇教授的学术成果、治学为人风范，依然闪着光芒，并将会一代代传承下去。

查良镇教授走好！查良镇教授千古！

                                                       中国质谱学会  

                                                         2022年12月25日