2024扫描电镜SEM年度热门仪器盘点

扫描电镜（Scanning Electron Microscope, SEM）是一种先进的显微成像技术，能够以高分辨率观察样品表面的微观结构。通过电子束轰击样品表面并检测产生的二次电子信号，SEM能够在几纳米到微米尺度范围内提供样品表面形貌、 texture 和成分分布的信息。其独特的深度信息和高对比度成像能力使其成为材料科学、生物学、工程学等领域的重要研究工具。

随着技术的进步，现代扫描电镜在分辨率、检测速度和多功能性方面都有了显著提升。特别是场发射电子枪的应用，使得SEM能够获得更高清晰度的图像。此外，结合能谱分析（EDX）、电子背散射衍射（EBIC）等附加功能，SEM已发展成为一种综合性的表面分析平台，广泛应用于纳米材料表征、失效分析和生物医学研究等领域。

        根据中国政府采购网、千里马等公开渠道统计（注：数据覆盖195台，占全年预估销量800台的24.4%，仅供参考），2024年扫描电镜采购呈现以下特征：

• 中标总量：公开渠道可查采购量195台，推算全年市场规模约800台，占电镜类仪器总销量（超千台）的80%；

• 总金额分布：单台采购价集中于200-800万元区间，进口高端机型（如热场发射SEM）占比超70%；

• 国产替代加速：国产品牌在中低端市场（<300万元）份额提升至35%，主要应用于教育及工业质检领域。

  
  

  具体见：2024年扫描电镜中标采购情况分析报告

  随着2024年进入尾声,本年度哪些扫描电镜更受用户青睐?分析测试百科网通过对所有在展产品的热度进行统计排名，发布2024年度产品热门榜单TOP10:

扫描电镜SEM热门产品列表TOP10

热门产品详情介绍

国仪量子场发射扫描电镜SEM5000

品牌厂商: 国仪量子

产品类型: SEM5000

国仪量子场发射扫描电镜SEM5000是一款高性能的场发射扫描电子显微镜。其采用先进的高压隧道技术（SuperTunnel），低像差无漏磁物镜设计以及电磁复合物镜，能够实现低电压下的高分辨率成像，并且适用于磁性样品的观察。该设备配备五轴全自动样品台和光学导航系统，操作简便，用户友好。SEM5000具有高亮度肖特基场发射电子枪，加速电压范围为0.1 kV至30 kV，最高分辨率可达1 nm @ 15 kV 和2.5 nm @ 1 kV，放大倍率高达1 ~ 1,000,000 x。其配置包括高角度电子探测器、侧向二次电子探测器及多种扩展功能（如能谱仪、背散射衍射等），支持多样化的成像分析需求。该设备还具备自动亮度对比度调节和自动聚焦等功能，提升操作效率，并可选配主动式减震系统以确保稳定性。SEM5000广泛应用于材料科学、微电子等领域，是一款功能强大且易于使用的高分辨率场发射扫描电镜。

蔡司EVO MA 10/LS 10钨灯丝系列扫描电镜

品牌厂商: 蔡司

产品类型: 蔡司EVO MA 10/LS 10

蔡司EVO MA 10/LS 10钨灯丝系列扫描电镜是高性能、功能强大的高分辨应用型仪器，专为材料和生命科学领域设计。其采用多接口大样品室、艺术级物镜及革命性Beamsleeve设计，在低电压下提供高分辨率成像，适用于材料表面分析和元素成分分析。该设备支持高低真空模式，配备高效率无油涡轮分子泵，确保快速样品更换和无污染成像。其五轴全自动样品台和先进的X射线分析技术，使其在金属、陶瓷、半导体、化学等领域广泛应用，可用于微观形貌观察、断口分析、成分分布测量及晶体学研究等，为材料科学和生命科学研究提供精准支持。

Apreo 2 SEM场发射扫描电子显微镜

品牌厂商: 赛默飞

产品类型: Apreo 2 SEM

Apreo 2 SEM是一款高性能场发射扫描电子显微镜，具备卓越的空间分辨率和衬度成像能力，适用于纳米及亚纳米级别的材料表征。其纳秒级T1闪烁体探测器提供高灵敏度的背散射电子图像，结合独特的实时元素成像技术（ColorSEM），实现快速、直观的元素分布分析。Apreo 2 SEM在大工作距离（10mm）下仍能保持1纳米级别的分辨率，操作简单且无需复杂的对中或优化流程。配备SmartAlign技术和FLASH功能，用户即使非专业也能轻松获取高分辨率图像。该设备支持多种样品类型，包括敏感材料和磁性样品，并兼容多项扩展功能如EDS、EBSD等，是材料科学研究的理想工具。

TESCAN MIRA3场发射扫描电镜（LMH/LMU）

品牌厂商: 泰思肯

产品类型:  TESCAN MIRA3

泰思肯 TESCAN MIRA3 扫描电子显微镜凭借场发射电子枪与先进电磁透镜系统实现 0.8nm 超高分辨率，结合可升级 EDS/WDS/CL 分析模块及 TrueBeam 低噪声电子枪技术，通过 XFlash 6 探测器实现元素快速 mapping 与 0.1wt% 检测极限，支持 1-2000Pa 环境模式直接观察潮湿绝缘样品，适用于半导体 7nm 制程缺陷检测、电池硅基负极失效分析、文物颜料微观结构无损研究等领域，其全自动样品台与 AI 辅助图像识别技术显著提升石墨烯缺陷分析等场景的工作效率，获得全球 50 多个国家科研机构认可，提供 7×24 小时技术支持与定制化解决方案，加速电压 0.5-30kV、放大倍数 10-1,000,000× 的强大性能为材料科学、生物医学等领域提供精准纳米级洞察。

飞纳Phenom ProX台式扫描电镜电镜能谱一体机

品牌厂商: Phenom

产品类型: 飞纳Phenom ProX

飞纳 Phenom ProX 台式扫描电镜能谱一体机是第六代集成化成像分析系统，结合高分辨率扫描电镜和能谱仪（EDS），实现样品表面形貌观察与元素成分分析。其独特的设计使能谱仪与电镜在硬件和软件上完全集成，操作简便，可快速获取样品的元素分布信息。Phenom ProX 配备高灵敏度背散射电子探测器和硅漂移探测器（SDD），支持5-98号元素的点、线、面分析，并可通过Element Identification (EID) 软件实现多点检测和映射功能。该设备分辨率达优于6 nm，加速电压4.8 kV至20.5 kV连续可调，适用于多种样品尺寸和高度需求。其无需喷金即可观察绝缘体、15秒快速抽真空、CeB6灯丝寿命长达1500小时等特性使其适合普通实验室环境使用。Phenom ProX 凭借创新设计荣获2012年新产品奖，广泛应用于材料科学、电子制造等领域，为中国用户提供专业解决方案与技术支持。

蔡司场发射扫描电子显微镜 GeminiSEM 360

品牌厂商: 蔡司

产品类型: GeminiSEM 360

蔡司场发射扫描电子显微镜GeminiSEM 360是一款高性能电镜，适用于科研和工业领域。它搭载Gemini 1镜筒，在低电压下仍能实现高分辨成像，并支持二次电子和背散射电子同时成像，轻松应对电子束敏感样品的表征。配备Inlens探头和大体积腔室，支持大尺寸样品检测，并通过蔡司ZEN Connect软件实现多仪器无缝导航和高效数据分析。GeminiSEM 360还具备优异的功能扩展性，可升级至更高性能版本，满足不同应用需求。其稳定性和灵活性使其成为材料科学、工业分析和生命科学研究的理想工具。

飞纳Phenom Pro高分辨率专业版 台式扫描电子显微镜

品牌厂商: Phenom

产品类型: 飞纳Phenom Pro高分辨率专业版

飞纳高分辨率专业版 Phenom Pro 是一款第五代高性能台式扫描电子显微镜，采用高亮度 CeB6 灯丝，放大倍数高达 150,000 倍，分辨率达优于 8 nm。其具备全自动操作、15 秒快速抽真空、不喷金观察绝缘体等优势，适用于纳米或亚微米样品的微观结构分析。设备采用专业防震设计，可灵活应用于实验室、办公室等多种环境。Phenom Pro 支持多种拓展功能选件和丰富的样品杯选择，满足不同材料的观测需求。后期还可升级为电镜能谱一体机 Phenom ProX，实现显微图像与元素成分分析结合。飞纳中国提供专业技术支持与培训服务，确保用户获得最优解决方案。

聚焦离子束电子束双束显微镜 DB500

品牌厂商: 国仪量子

产品类型: DB500

DB500是一款高性能的纳米分析与制样工具，配备自主可控的场发射电子镜筒和“承影”离子镜筒，支持高分辨率成像和高质量纳米加工。“承影”离子镜筒采用液态镓离子源，提供稳定、高质量的离子束流，适合纳米级加工与TEM样品制备。电子镜筒通过高压隧道技术和低像差无漏磁物镜设计，实现高分辨率成像，兼容磁性样品。设备集成24个扩展接口，包括气体注入器、纳米机械手等模块，功能全面且易于扩展。其样品仓内的压电陶瓷驱动机械手操作精准，结合三摄像头导航系统和全自动化真空控制，提供高效便捷的操作体验。DB500以其高稳定性、长使用寿命及三年质保服务，成为科研与工业应用的理想选择。

KYKY-EM8000场发射扫描电子显微镜

品牌厂商: 中科科仪

产品类型: KYKY-EM8000

KYKY-EM8000场发射扫描电子显微镜，北京中科科仪研发的国产高端科学利器，采用肖特基场发射技术，分辨率高达1.5nm@15kV（二次电子）和3nm@30kV（背散射电子）。放大倍率8至160万倍，加速电压0.2-30kV连续可调，低电压下可直接观测非导电样品，简化制样流程。电子光学系统多级锥形透镜设计，智能化自动调整，束流稳定、色散小，适合长时间精确分析。五轴全自动样品台，行程大、旋转倾斜功能全，兼容多样品类型，具碰撞报警功能。可选配BSE、EDS、EBSD、CL等探测器，满足多领域微观形貌与成分分析需求。高性价比、易维护、模块化定制，性能超传统钨灯丝电镜，广泛应用于科研、工业前沿领域。

FE-1050系列高分辨场发射扫描电子显微镜

品牌厂商: 纳克微束

产品类型: FE-1050T

FE-1050系列高分辨场发射扫描电子显微镜是国内首款集低电压高分辨率与多功能扩展于一体的高端设备。其配备新一代电子光学镜筒，在低电压下实现1.5nm（1kV）的高分辨率，特别适合观察易受电子辐照损伤的样品。设备兼容性强，主真空腔室宽敞，支持第三方探测器及附件系统，并提供多达27个扩展端口，极大提升了可拓展性。操作方面，FE-1050搭载自动化进样功能、多角度监控相机和用户友好的交互软件，显著降低了使用门槛，为用户提供高效便捷的操作体验。

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