AvaSoft-Thinfilm 薄膜测量软件
AvaSoft-Thinfilm软件是个独立的软件包，与AvaThinfilm薄膜测量系统相配套。AvaThinfilm系统在本手册应用章节里有详细介绍。
AvaSoft-Thinfilm应用软件通过已知光学参数的透光膜层的上下表面反射所形成的干涉光谱来计算该膜层的厚度。
AvaSoft-Thinfilm应用软件采用了两种计算薄膜厚度的方法：快速傅立叶变换（FFT）和最佳拟合优化算法（光谱匹配）。FFT方法的主要判据是干涉图形的疏密程度，这种方法常用于膜层厚度较厚的膜层测量。而光谱匹配优化算法可以测量各种厚度的膜层，它根据拟合系数来监控拟合的质量，或加快数据处理速度。