狭缝宽度 (µm)
光栅线对数 (线/mm)
50
100
200
500
75
12.1
15.7
30.8
77.0
9.5
12.4
21.0
52.5
150
6.4
8.3
14.0
35.0
4.8
6.1
10.6
26.5
