发布时间:2021-09-22 09:57 原文链接: EDS能分析表面的元素组成吗

X射线能量分散谱仪(简称能谱仪或EDS)
能谱仪可应用于微区成分分析和样品中元素的点分析、线分析、面分析。能谱仪与波谱仪类似,也有点分析、线分析、面分析三种分析方式,作用与波谱仪类似,但分析速度比波谱仪快的多,其缺点是其分辨率较波谱仪稍差,常有相邻谱峰的重叠现象,使元素分析发生困难。

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