发布时间:2018-06-27 15:03 原文链接: EDX能谱分析:X射线如何工作

与BSE,SE和TE不同,X射线是电磁辐射,就像光一样,由光子组成。为了检测它们,zui新的系统使用了硅漂移探测器(SDD)。由于其具有更高的计数率、更好的分辨率和更快的分析能力,都优于传统的Si(Li)探测器。这些探测器被置于一个特定角度,非常接近样品,并且有能力测量X射线的光子能量。探测器与样品之间的立体角越高, X射线检测概率越高,因此获得zui佳结果的可能性也越大。

由EDX分析产生的数据包含了样品中所有不同元素对应的峰值的光谱。典型的EDX光谱:y轴描述X射线数量,x轴是X射线的能量。峰的位置是对元素的识别,峰高有助于对样品中各元素浓度的量化。

 

此外,EDX可以用于定性(元素的类型)以及定量(样本中每个元素的浓度百分比)的分析。在大多数SEM中,专用软件可以自动识别峰值,并计算检测到的每个元素的原子百分比。EDX技术的另一个优点是,它是一种非破坏性的表征技术,需要很少或不需要样品的制备


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