| 仪器名称： | 高级显影系统 |
| 仪器编号： | 04001249 |
| 产地： | 奥地利 |
| 生产厂家： | EVG |
| 型号： | EVG101D |
| 出厂日期： | 200303 |
| 购置日期： | 200403 |
| 所属单位： | 物理系>纳米中心>纳米中心加工平台 |
| 放置地点： | 纳米楼超净间 |
| 固定电话： | |
| 固定手机： | |
| 固定email： | |
| 联系人： | 安东（010-62796021,18701647330,andong3014@163.com） |
| 分类标签： | 微纳加工 |
| 技术指标： | EVG101C匀胶机 功能设置：旋转卡头和移动喷头 旋转卡盘：真空吸盘 转速O-10000min 适用衬底尺寸：2" 4" PC软件控制涂胶过程 控制参数：卡盘转速[rpm] 涂胶时间[s] 用于样品光刻胶涂敷 |
| 知名用户： | 校内用户：清华大学化学系、物理系、材料系、环境系、核研院、航院、精仪系、机械系、微电子所、电子系、医学院、工物系、热能系、力学系、建筑系、水利系、土木系、电机系、基础工业训练中心等二十余个院系。校外用户：北京大学、中科院国家纳米中心、半导体所、北航，北理工，中科院物理所、北科大、北化工、北林大、地质大学、成都电子科技大学、上海交通大学、同济大学等多个课题组 |
| 技术团队： | 属于纳米中心测试加工平台，有完善的组织管理体系，有经验丰富的仪器维护管理工程师和专业实验员。还有纳米中心厂务部门支持仪器的外部水、电、气的供应。 |
| 功能特色： | 自动显影 误差小，显影效果好。 |
| 项目名称 | 计价单位 | 费用类别 | 价格 | 备注 |
|---|---|---|---|---|
| 显影 | 元/片 | 材料费 | 100.0 |