| 仪器名称： | 椭圆偏振光谱仪 |
| 仪器编号： | 10013202 |
| 产地： | 中国 |
| 生产厂家： | Horiba Jobin Yvon |
| 型号： | UVISEL |
| 出厂日期： | 201009 |
| 购置日期： | 201009 |
| 所属单位： | 集成电路学院>微纳加工平台>测试与分析 |
| 放置地点： | 集成电路学院一层超净间内测试间 |
| 固定电话： | |
| 固定手机： | |
| 固定email： | sux@mail.tsinghua.edu.cn |
| 联系人： | 苏鑫（010-62781090,18511794134,sux@mail.tsinghua.edu.cn） 窦维治（010-62781090,13366273985,douwz@tsinghua.edu.cn） |
| 分类标签： | 半导体 测试 膜厚 折射率 消光系数 光学参数 |
| 技术指标： |
|
| 知名用户： | 许军：微电子所 王晓红：微电子所 王敬：微电子所 刘泽文：微电子所 李正操：材料系 陈炜：微电子所 任天令：微电子所 严清峰：化学系 |
| 技术团队： | 设备工程师：曹秉军 测试工程师：苏鑫 |
| 功能特色： |
|
样品要求：
样品基底平整，薄膜平整；
样品尺寸小于6寸；
样品重量小于3kg。
接受送样测试，需要提前与工程师联系，未通过准入的用户不能进入实验室。
预约说明：
实验室的设备采用网上预约的方式、以先约先用为基本原则
取消预约需提前2个小时通过网上取消预约
| 项目名称 | 计价单位 | 费用类别 | 价格 | 备注 |
|---|---|---|---|---|
| 椭偏仪测试 | 元/小时 | 自主上机机时费 | 300.0 | |
| 椭偏仪测试-送样 | 元/小时 | 测试费 | 300.0 |
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