ICP-MS（Inductively coupled plasma mass spectrometry），全称电感耦合等离子体质谱。是以电感耦合等离子体作为离子源，以质谱进行检测的无机多元素分析技术。ICP-MS技术起源于已有的两种技术——氩气ICP和四级杆质谱仪，这些系统虽然还需要在ICP与质谱仪的接口方面作一些改进。
电感耦合等离子体(ICP)和质谱(MS)技术的联姻成为20世纪80年代初分析化学领域最成功的创举，也是分析科学家们最富有成果的一次国际性技术合作。
从1980年Houk等人的第一篇ICP-MS可行性文章发表，到1983年第一台商品化仪器的问世只有3年时间。
尽管早期ICP-MS系统昂贵、庞大、复杂、自动化程度有限，而且信号漂移严重，但低检出限的多元素同时检测和简单的质谱信息输出(包含同位素比值信息)等显著的优点使人们很快接受了这项刚出现的技术。
常用术语
质量数：在核子/原子中，中子和质子的总数。
核素（Nuclide）：给定M值和Z值的一种核子。
同中子异荷素（Isotone）：中子数（N）相同，质子数或质量数不同的核素。
同位素（Isotope）：质子数相同（Z），中子数或质量数不同的核素。
同量异位素/同质异位素（Isobar）：质量数（M）相同，质子数和中子数不同的核素。