JEOL台式扫描电子显微镜共享

图像放大倍率：×10～×100,000，最高分辨率15nm；

真空模式：高真空≤10-3Pa，低真空≤20Pa，减轻电荷模式≤80Pa；

加速电压：5kV，10 kV，15 kV；

图像模式：高真空模式 : 二次电子像、背散射电子像（成分、相貌、阴影像）、３D图像，低真空模 : 背散射电子像（成分、相貌、阴影像）、３D图像。

样品台移动范围：X  0 ~ 40 mm，Y      0 ~ 40 mm，T     -10 ~ 45 度，R   360 度；

样品最大尺寸要求：直径80mm，高50mm；

抽真空时间：~3min；放真空时间：~30s。

测试工程师：陈雅璐

设备工程师：曹秉军

①表面形貌观察、元素分析；

②光学定位，SEM 的操作画面以最低倍率显示的图像，是插入样品时自动拍摄的光学图像。在光学图像寻找视野，将观察视野放大时会自动切换到 SEM 图像。

③实时能谱，在观察画面上可以同时显示分析区域内的特征 X 射线谱图和自动定性的主要构成元素。

④4等分背散射电子检测器，可以呈现成分衬度像和形貌像。

⑤自动对焦、自动相散调整、自动对比度调整。

⑥真空度选择：对于不同的样品可以选择不同的真空度进行观察，尤其对于不导电样品可以采用低真空模式减小表面荷电。