主要技术参数：
SF6湿度：
l 测量范围：露点-80+20℃（支持PPMV等）
l 露点精度：±0.4℃（当露点温度低于0℃，传感器输出为霜点）
l 响应时间63%[90%]
+20→-20℃ Td 5s[45s]
-20→-60℃ Td 10s[240s]
l 分辨率：露点0.1℃或0.1ppm
l 重复性：±0.4℃
l 气体流量SF6调节在0.5～0.9L/min
l 探头保护：不锈钢烧结过滤网
